干货丨洁净室的检测方法及流程（二）

洁净室检测的工艺流程

凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前必须对系统、洁净室、机房等处进行全面清扫，在清扫和系统调整后必须连续运行一段时间，然后进行检漏等项目的测定。洁净室测定的程序大致如下。

风机空吹→室内清扫→调整风量→装中效过滤器→安装高效过滤器→系统运行→高效过滤器检漏→调整风量→调整室内静压差→调整温湿度→单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定→室内洁净度测定→室内浮游菌和沉降菌的测定→生产设备有关的工作和调整。

检测依据

     包括规范、图纸、设计文件和设备的技术资料等。分以下两类：

     1、设计类设计文件、设计变更的证明文件及有关协议、竣工图；

     2、设备的技术资料。

检测方法及结果判定

     1、风量或风速的测试

     （1）仪器设备及环境测量仪器

叶轮风速仪、热球风速仪、毕托管、微压计、风量罩。环境温度常温或设计温度下。

     （2）抽样对有设计要求的区域进行检测。

     （3）风量风速检测必须首先进行净化空调，各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。

     1）乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值，但不应超过20%。实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

     2）单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过20%。总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。

     2、室内静压差的测试

     （1）仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。

     （2）抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。

     （3）技术要求静压差检测结果应符合下列规定

     1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。

     2)洁净室与室外静压差应大于10Pa。

     3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

     3、空气过滤器的泄漏

     （1）仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。

     （2）抽样高效过滤器本体在进入现场前生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏。

     （3）操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器应用扫描法进行过滤，安装边框和全断面检漏扫描法有检漏仪法和采样量最小为1L/min的粒子计数器法两种。这里采用的是粒子计数器法检漏。

     1）被检过滤器必须已测过风量在设计风速的80%~120%之间运行。

     2）采用粒子计数器检漏高效过滤器。

     其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或其他气溶胶尘的空气。对大于等于0.5μm的尘粒浓度应大于或等于3.5×105pc/m3；或对大于或等于0.1μm尘粒浓度应大于或等于3.5×107pc/m³若检测D类高效过滤器对大于或等于0.1μm尘粒浓度应大于或等于3.5×109pc/m³。

     3）检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处以5~20mm/s的速度移动对被检过滤器整个断面、封头胶和安装模框和安装框架处进行扫描。在扫描过程中应对计数突然递增的部位进行定点检验发现有渗漏现象，即用硅橡胶进行补漏或更换高效过滤器。