国内有哪些分子束外延设备厂商（MBE）呢，和国外对比技术如何？

病理医师

国内有哪些分子束外延设备厂商（MBE）呢，和国外对比技术如何？

原文地址：https://www.zhihu.com/question/328624761

大力水手

emmm.....恰巧是半导体行业的小虾米，微末的说两句吧
1）目前还是以cos为主吧。
2）看起来不少，做出来的没几家。科研用的和工业用的有区别，零部件上还是以国外的为主，（整个半导体行业大多都是国外设备和零部件
3）国内材料不是很好，有些部件寿命半年算不错了吧？
是个风口可以搞搞~~~
详情还是看 @李浩 @卷阿 这两位的回答吧
其实看地址都知道大家在那公司( ﹁ ﹁ ) ~→

卡卡

检验医师

中科艾科米（北京）科技有限公司，专业团队制作MBE。

长长的路

我个人没有做过MBE，但好歹在一家MBE供应商工作了好几年，就根据自己的了解大概写写吧。如果有谬误还请指正。关于厂商有错误信息，也请指正，反正不要当利益相关的恶意抹黑就好。我也没公司股份，没啥利益相关的。
既然要和国外的对比，那对供应商的介绍就不局限在国内厂商了，从国外的写起吧。
国际上比较专业的大型MBE设备供应商主要有，美国的Vecco，法国的Riber，芬兰的DCA等。这几家从实验室用的小型MBE，到工业相关的英寸级别的圆晶MBE都有供应。并且能提供一定的工艺解决方案。
另外一些超高真空表面科学的供应商因为用户有进行MBE生长的需要，也会提供MBE解决方案，比如德国/瑞典的Scienta Omicron，德国的Createc，波兰的PreVac等。其中，Scienta Omicron的产品线更全一些，从10*10 mm到圆晶都有，印象中其他几家集中在科研用10*10 mm上。这几家供应商一般不能提供生长工艺上的支持。
还有一家比较特殊的是德国的Dr. Eberl MBE-Komponenten，印象中只在科研界见过他们的产品，在企业专注在MBE上，也是10*10到圆晶都有。并为部分其他供应商提供源炉。
最近欧美对中国的MBE系统的出口审查日趋严格，于是国内从事MBE制造的企业就非常多了。光我知道的大概就有，北京的中科艾科美、上海费勉、上海实路、大连齐维、苏州华阳赛斯、沈阳科仪、常州国成、苏州焜原等。我不知道的可能还有很多。
这么多的新生MBE企业大约有几个原因：欧美出口许可严苛，国内厂商就有更多机会；国家加大了对科研仪器国产化的投入；国家加强了在半导体和芯片行业的投入，这些行业的研发需要MBE；出于以上原因，一些投资基金也对MBE制造商有了兴趣。
这么多企业，自然有不少实心做事的，也会有一些浑水摸鱼的。MBE这东西也确实容易浑水摸鱼。用心做个能长出优良结构的设备，它是MBE；搞个不锈钢腔，把泵和蒸发源堆上，往里喷点东西，也可以说是MBE。不过，从前两年新能源汽车的发展历程来看，我以为只要有企业认真做事，并做出点啥，那就是值得的。
MBE的品质有时候也挺难衡量的。因为MBE生长还是挺看使用者的经验和能力的。毕竟有些材料的生长，差一度就会有巨大影响，而热偶点的位置稍有差别，同样的温度测出来就会有差别。好的系统遇上懒惰的人可能也长不出啥；一般的系统遇上肯摸索的人，也许也能长出好结构；不好的设备肯定没戏。
至于最终MBE品质的衡量，个人以为可以考虑以下几点。产品的设计，不同的MBE生长体系（GeSi, III-V, Oxide，拓扑等）会有不同的真空度要求和不同的污染程度，能否合理设计泵系统，用合理的成本达到需要的真空度，就很考验设计水平，无上限地堆泵，肯定不是成熟的产品；另外还有生长控制程序的便捷性、可编辑性和稳定性等。
最终MBE产品的质量和上下游产业也密切相关。追求极限真空时，腔体本身的钢材品质和放气程度就变得重要，这是和整个工业体系相关的。源炉控温的稳定性是MBE品决定性因素之一，一些MBE厂商采购他人的源炉，一些自己做，国内也有不少厂家自己做源炉，性能如何我不大确定。表征设备对MBE也很重要，有膜厚仪、束流规、RHEED等。这些设备的生产商也不多，比如RHEED，我知道的只有两家。我倒不是主张什么都得自己重复造轮子，但实现部分探测设备的国产化可能还是有意义的。我总觉得自己设计个不锈钢腔，把进口的RHEED，源炉，Manipulator，泵全堆上去，也很难算真正的MBE国产化（幸运的是我看到这些部件不少都能国产化）。
至于国产MBE的具体品质，我没用过，实在不好评价。但听说有企业能做圆晶MBE了，还是可喜可贺的。
MBE可能是超高真空设备中唯一和实际生产联系紧密的。但我个人还是对其在工业上的应用前景有所疑虑。MBE技术最大的优点是生长速度慢、结构控制精确。但这同样也是它最大的缺点，对工业生产来说，它实在太慢了。也许只能通过生长高附加值产品，或者多台设备同时开工来克服了？



加拿大滑铁卢大学的一堆MBE

ARPES
卷阿：如何评价角分辨光电子能谱(ARPES)实验技术？

队长是我

上海费勉仪器，上海实陆公司，大连齐维公司，沈阳科仪等。比德国的MBE components，法国的riber，美国的vecco有些差距，但正在缩小。