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[分享] 匀胶机影响旋涂产品质量因素有哪些?

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发表于 2022-11-21 09:26 | 显示全部楼层 |阅读模式

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匀胶机影响旋涂产品质量因素有哪些?
清洁基材
受污染的基材可能不会完全破坏您的涂层,但是为什么您要花时间和精力进行从一开始就存在缺陷的旋涂工艺呢 ?
颗粒污染
清洁后,旋涂过程中可能会发生颗粒污染。
化学污染
残留在晶圆上的化学污染会影响您的旋涂工艺,看不见的污染点产生的涂层空隙等问题。
清洁您的旋转涂布机
如果希望获得最佳的旋涂效果,则旋涂机应该一尘不染。您的旋涂过程成进行优化以使用最少的化学剂并且旋涂机应在每次操作结束时进行清洁。
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